移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國普發(fā) Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時間使其成為同類型檢漏儀中的強者！
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計, 移動性強
5. 通過 CE 認證, ETL 認證, UL61010 合規(guī), 符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求嚴苛的應(yīng)用
上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:
型號 | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 已停產(chǎn) |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 |
最小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s |
對氦氣的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 內(nèi)置2臺分子泵 | 7 l/s |
前級泵抽速 | 35 m3/h |
進氣口zui大壓力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
無校準(zhǔn)的啟動時間(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
進氣口 | DN 40 ISO-KF |
響應(yīng)時間 | < 1 s |
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet |
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 應(yīng)用案例
| 激光器零件檢漏
應(yīng)用于航天領(lǐng)域的激光器零件檢漏, 中空夾層設(shè)計, 僅在兩端焊接密封, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s. |
| 氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S |
| 氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體用配管配件檢漏
定制不銹鋼管, 配件和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場量測管路, 然后對不同管路的口徑進行焊接, 產(chǎn)品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s |
| 氦質(zhì)譜檢漏儀熱交換器檢漏
對應(yīng)用于工業(yè)的體積 >1000L 的熱交換器進行檢漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s. |
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 伯東 Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
