光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃是合肥智測電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測量產品，支持 4 線制熱敏 電阻測量，測量zuida阻250KΩ。RS485接口支持MODBUS協議，包括MODBUS RTU 和 MODBUS ACSII 協議，提供 4 線制熱敏電阻溫度測量。

引言
光刻機（Mask Aligner）又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
光刻機工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產生光刻膠流動。因此溫度對于光刻的成品率起著重要的決定性因素
光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃介紹

光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃是合肥智測電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測量產品，支持 4 線制熱敏 電阻測量，測量zuida阻值250KΩ，精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS協議，包括MODBUS RTU 和 MODBUS ACSII 協議，NTC 測量模塊采用 24V 直流電壓供電，提供 4 線制熱敏電阻溫度測量，用戶可輸入 NTC 特征參數，精度可達±0.02℃。模塊配備了 RS485 通訊接口，支持 MODBUS 協議，可提供 用戶二次開發。獨立的電源開關可單獨控制模塊供電。

光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃應用
光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃廣泛應用于電子、半導體、LED、空調,冰箱、冷柜、熱水器、飲水機、暖風機、洗碗機、消毒柜、洗衣機、烘干機等家電設備上、汽車空調、水溫傳感器、進氣溫度傳感器、發動機、開關電源、UPS不間斷電源、變頻器、電鍋爐等
智能馬桶,電熱毯等
光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃性能
●靈敏度高,響應速度快
●精度高
●具有良好的絕緣密封性和抗機械碰撞

光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭 ±0.01℃優勢
小巧便捷
獨立電源鍵
支持4線制熱敏電阻測量

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