特色和優點

• 包括第8代具有創新性的先進技術；
• 實現從納米線操作到TEM樣品制備，再到電學和機械測量的各種應用；
• 3軸樣平臺可以沿任意方向線性移動（全向性）；
• 在任何樣品傾斜角度下都能實現正交導航；
• 將樣品快速旋轉到特定角度；
• 可以大范圍內執行平穩而精確的操作；
• 即使在視野外也始終知道探頭的位置；
• 在任意端口安裝都可以預測移動行為；
• 可以輕松地調出存儲位置，減少操作員疲勞，并提高成功率；
• 避免碰撞；
• 氣動插入/回縮鏈接到電鏡軟件（取決于OEM）；
• 內置能力，可為針施加+/- 10 V的偏壓，用于電壓襯度成像或其他應用。

同軸旋轉功能

同軸旋轉分辨率可達0.1度，使樣品在旋轉期間一直處于相當于60um水平視場的放大倍率下成像。

• 可以安全的完成樣品旋轉，沒有任何碰撞的風險。每次旋轉后，不需要重新定位樣品或探針。
• 在FIB中，這保證了對針尖打磨的速率及簡易性，以改善電學特性表征的可靠性及對20nm以下特征樣品尺寸進行操作時的精確性。
   

自動化系統

• 電腦和顯示器；
• 2U機架式以太網控制器；
• 帶有100nm線性反饋的3軸樣平臺；
• 運動控制軟件界面；
• 用戶手冊和安裝指南。