XTC/3 薄膜沉積控制器

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質其他
更新時間 2021/2/3 17:01:25
訪問次數 833

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促銷詳情

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特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

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功能

提供有單層和多層型號
ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
支持 INFICON Crystal 12^®、Crystal Six^® 及雙傳感器自動晶體轉換，從而大化生產力
XTC/3M 多層型號多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源
XTC/3S 單層型號多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源
易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
可以為薄膜和過程分配的描述性名稱，以便于檢索
提供以太網連接
獨立式（不需要計算機）或便于 PC 操作的可選 Windows^® 軟件
插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）

典型應用

光學鍍膜

新聞

XTC/3 前面板已根據 INFICON
公司的新標準進行重新設計。

XTC/3M 是款帶有此新設計的薄膜產品并
已裝配在當前銷售的新產品中。XTC/3S 的新型前面板設計
將于 2013 年末開始發貨。其他薄膜產品的前面板
將在 2014 年和 2015 年進行更新。

規格

類型	XTC3/S	XTC3/M
頻率分辨率	±0.028 Hz @ 6 MHz	±0.028 Hz @ 6 MHz
測量頻率范圍	6.0 to 5.0 MHz (fixed)	6.0 to 5.0 MHz (fixed)
測量周期	0.25 seconds	0.25 seconds
厚度和速率分辨率/測量 (1)	±0.034 ?	±0.034 ?
測量技術	ModeLock	ModeLock
過程數量	1	99
層數	1	999
材料計劃（或薄膜）數量	9	32
傳感器輸入數量	2	2
CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持	Yes	Yes
支持 XTAL 2 開關	Yes	Yes
來源輸出數量	2	2
計算機通信	RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional	RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
大 RS232 波特率	115.2 KBaud	115.2 KBaud
自動晶體轉換	Yes	Yes
繼電器數量	12, Not Event Assignable	12, Event Assignable
可編程繼電器功能數量	1	1
每個繼電器的功能	1	1
繼電器額定電壓	30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps	30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
輸入數量	8 TTL, 24VDC Max	8 TTL, 24VDC Max
可編程輸入功能數量	1, Not Event Assignable	1, Event Assignable
記錄器輸出數量	1	1
手動電源 / 手持控制器	Yes	Yes
排氣管風扇	No Exhaust Fan	No Exhaust Fan
測試模式	Yes	Yes
閘門延遲	Yes	Yes
二次成型模具	Yes	Yes
外殼尺寸	half rack, 2U high	half rack, 2U high
速率和厚度顯示分辨率	0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A	0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通過輸入選擇膜	Yes	No
用戶指南語言	English, Chinese	English, Chinese
控制環路	PID	PID
用于從 PC 操作的軟件	Yes	Yes
數據記錄	Yes	Yes
質量和穩定性功能	Yes	Yes
采樣保持 (RateWatcher™)	Yes	Yes
坩堝選擇	Yes	Yes
坩堝反饋輸入	Yes	Yes
選擇控制電壓極性	Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution	Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序鎖定碼	Yes	Yes
帶圖形的顯示器	Yes	Yes
用戶標記過程（手機式字母數字輸入）	No	No
用戶標記膜（手機式字母數字輸入）	No	No
傳輸傳感器控制	Yes	Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性	Yes (limited)	Yes (limited)

(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲

附件

名稱	說明
	前裝式單傳感器
	前裝式雙傳感器
	炫酷抽屜單傳感器
	炫酷抽屜雙傳感器
	薄型雙傳感器
	UHV 可烘烤傳感器
	濺射傳感器
	CrystalSix® 傳感器
	Crystal 12® 傳感器
	Easy Rate Single Sensor
	RSH-600 旋轉式傳感器

零件號	明細
780-700-G1	Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1	Handheld Power Controller
780-702-G1	單件機架安裝套件 – 提供將單臺 XTC/3 安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料
780-702-G2	兩件機架安裝套件 – 提供將兩臺 XTC/3 并排安裝到標準 19 in. 機架上需要的所有材料


779-220-G1	CrystalTwo 開關，15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
779-220-G2	CrystalTwo 開關，50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
Oscillator kits	（包括振蕩器和電纜）
780-611-G15	帶 5 ft. (4.6 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
780-611-G30	帶 30 ft. (9.1 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
780-611-G50	帶 50 ft. (15.2 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
780-611-G100	帶 100 ft. (30.5 m) 電纜的XIU PKG – 與 XTC/3 結合使用
780-612-G15	帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-612-G30	帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-612-G50	帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-612-G100	帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空電纜和 6 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-613-G15	帶 15 ft. (4.6 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-613-G30	帶 30 ft. (9.1 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-613-G50	帶 50 ft. (15.2 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
780-613-G100	帶 100 ft. (30.5 m) XIU 電纜的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空電纜和 20 in. BNC（XIU 至饋入件）電纜 – 與 XTC/3 結合使用
Oscillator Only	（未隨附電纜）
780-600-G1	XTC/3 XIU（振蕩器）- 用于長度為 6 in. 至 72 in.（15 cm 至 183 cm）的 XIU 至傳感器頭部電纜
780-600-G2	XTC/3 XIU（振蕩器）- 用于長度為 118 in. 至 157 in.（3 m 至 4 m）的 XIU 至傳感器頭部電纜
Cables
755-257-G6	15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，XIU 至真空饋入件
600-1261-P15	4.6 米（15 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30	9.1 米（30 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50	15.2 米（50 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P100	30.5 米（100 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU