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PEG100 中到超高真空真空計

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好處

  • 測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
  • 全金屬冷陰極傳感器(潘寧)帶有陶瓷饋入裝置
  • 新創的電極幾何形狀提供的點火屬性
  • 等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板,降低了污染風險,即使是使用氬氣進行濺射操作期間
  • 陽極環和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換
  • 小化真空計附近的磁場強度
  • LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態
  • 對數模擬輸出信號
  • 現場總線接口(Profibus DB、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

典型應用

  • 高真空壓力監控
  • 蒸發鍍濺系統
  • 高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

類型 PEG100
測量范圍 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 至 10-4 毫巴 % of reading ±30
壓力,大() bar 10
溫度  
運行(環境) °C +10 to +50
貯存 °C -20 to +75
無電子設備,烘烤 °C 350
帶電子元件,在法蘭處烘烤 °C 70
供應  
電壓 V (dc) 14.5 to 36
消耗,大 W <>
輸出信號模擬  
輸出信號 V 0 to 10.6
測量范圍 V 0.66 to 10
電壓與壓強之間的關系 volts per decade 1.333
連接器 FCC 68, female, 8 pin (shielded)
電纜長度,大(模擬) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
內部容積 cm³ (in.³) 21 (1.28)
重量,接近 g 500
保護類型 IP40
DeviceNet™  
設備類型 generic
顯示對等網絡傳訊 no
I / O 對等傳訊 no
配置一致性值 no
默認節點恢復 no
波特率 kBaud 125 / 250 / 500
主板 / 掃描器 no
I / O 從屬傳訊: 位觸發 yes
I / O 從屬傳訊: 輪詢 yes
I / O 從屬傳訊: 周期 yes
I / O 從屬傳訊: 狀態改變 (COS) yes
DeviceNet™ 電源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 連接器 Phoenix Combicon, 5 pin

零件號

PEG100
零件號 明細
351-000 真空計
351-002 PEG100-P 規管
351-003 PEG100D 型真空計
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-490 陰極片

數據表

手冊

三維步驟文件

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