GT130D氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為MFC） 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣象色譜儀以及其他分析儀器。

GT130D氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣象色譜儀以及其他分析儀器。

技術特點

• 微處理器控制

內部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實現不同工況條件下進行高速精確的流量控制。

• 緊湊的外形尺寸

尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。

• 多氣體多量程選擇

內部設置了多種氣體模式（H2、N2、Air、He等），用戶可根據用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時，本公司提供擇不同量程MFC產品，用戶可根據需求進行選。

• RS-484總線接口

內置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網，實現多臺MFC同時控制。

• 可獨立運行

上電后即可使用，用戶可通過按鍵直接對MFC進行操作，無需連接其他外部電路、PC、PLC等設備。

• 便捷標定方法

GT130D氣體質量流量控制器可通過標定軟件對MFC進行標定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。

技術指標