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hy000503 PI P-545.3C7緊湊型XY壓電掃描臺

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P-5453C7 緊湊型XY壓電掃描臺

應用于顯微領域,超大通孔設計,高性價比,達三維掃描,精密版本

特性:

的穩定性和可重復性

掃描行程:200*200*200um

亞納米分辨率

毫秒響應時間

緊湊設計,便于集成

隱藏式滑座,自由轉動,調節更為靈活

多種位置傳感器可選

柔性鉸鏈系統,無回程差

采用PICMA壓電觸動,高可靠性


參數:

運動軸:X/Y/Z軸線性度:0.1%
尺寸:217*150*20mm

機構設計:串聯機

中孔:82*65mm無負載下字真頻率:1000(X,Y),800(Z)Hz
傳感器:電阻傳感器,電容傳感器;負載:5N
閉環行程:70-200um閉環分辨率:<1nmm

應用:

超分辨顯微技術

拍攝

共聚焦顯微系統

生物技術




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