產品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化開發，快速實現光學薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。
產品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術參數 | 1、自動化程度：固定變角 2、應用定位：原位定制型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光譜 4、分析光譜：380-1000nm，支持按需定制化 5、單次測量時間：0.5-5s 6、重復性測量精度：0.01nm 7、入射角范圍：65°（支持定制） |
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