電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)
VelocityTM EBSD提供具有高標定性能的材料高速采集面分布圖。通過采用CMOS傳感器,VelocityTM將高靈敏性、低嗓聲性能以及快速采集結(jié)合為一體,實現(xiàn)了采集速度與數(shù)據(jù)質(zhì)量的優(yōu)化。
VelocityTM系列有兩種型號:
VeloctiyTM Plus - 采集速度3000點/秒
VeloctiyTM Super - 采集速度4500點/秒
對此兩種型號,VelocityTM 在標定成功率達到99%以上時,仍能達到標定速度。在此速度下,VelocityTM采用120X120的圖像像素分辨率,結(jié)合EDAX的三條帶組標定算法,無需另加模塊或算法即可實現(xiàn)對變形結(jié)構(gòu)的表征,取向精度小于0.1°。
VelocityTM可測量的材料范圍非常廣泛,包括低對稱性,多相及變形材料。VelocityTM實現(xiàn)了對采
樣質(zhì)量要求較高的真實樣品的優(yōu)化采集。VelocityTMEBSD可與EDAXEDS聯(lián)用實現(xiàn)EDS-EBSD的同步采集,即使是在采樣速度下。與ChI-Scan TM分析技術(shù)結(jié)合,可實現(xiàn)對聯(lián)用數(shù)據(jù)的精準的相區(qū)分。
電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)特點與優(yōu)勢:
采集速度高達每秒3000/4500個標定點
可在幾分鐘能完成EBSD面分布圖采集,有利于高效使用SEM,原位實驗和3D EBSD應(yīng)用
高速低噪的CMOS傳感器
高靈敏度低噪聲的傳感器, 在EBSD標定速度下圖像分辨率為120X120。
取向分辨率精度小于0.1°
使用標準標定算法即可清晰表征形變材料
高標定成功率
EDAX*的三條帶組標定法和專業(yè)的置信度因子提供了對挑戰(zhàn)性真實樣品*的標定性能
EDS-EBSD的同步高速采集
Velocity 與兼容的EDAX EDS探測器經(jīng)過優(yōu)化,可在采樣速度下高效采集數(shù)據(jù)