等離子體/YZD08-2C
小型等離子體（Plasma）
等離子體/YZD08-2C技術(shù)特點：
1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。
2.儀器實現(xiàn)了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗
3.儀器實現(xiàn)了程序化設(shè)計，預(yù)先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗
4.無需任何耗材使用成本低，無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可
5.電容式等離子激發(fā)，處理效果均勻，激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉內(nèi)頂部懸掛
6.密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染
7.40Khz射頻電源,自主研發(fā)質(zhì)量穩(wěn)定可靠，具有自動保護功能。
8.靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能，可適應(yīng)多種處理工藝。
9.采用皮拉尼真空技術(shù)，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現(xiàn)對氣體流量和真空度的精準(zhǔn)控制和監(jiān)測。
10. LED+金屬按鍵控制方式，操作方便穩(wěn)定可靠。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號：YZD08-2C | 品牌：賽奧特（SAT） |
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不銹鋼/石英艙體 | Φ100 mm×L255mm |
工作氣路 | 壹路，可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 40KHz |
射頻功率 | 0-200W可調(diào) |
控制系統(tǒng) | 按鈕+單排LED顯示，實時顯示和檢測艙內(nèi)真空度值 |
時間范圍 | 0—99分59秒連續(xù)可調(diào) |
工作壓力 | 樣品倉內(nèi)200Pa以內(nèi)根據(jù)進氣量自動調(diào)節(jié) |
工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進氣壓力 | 空氣：常壓 連接氣體鋼瓶：0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
真空泵 | 抽速：1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V／50Hz |
整機尺寸（D*W*H） | 520X460X253mm |
重量（約） | 20Kg |
