橢圓偏光法是基于測量偏振光經過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質。光譜型橢偏儀Ellipsometer在全部光譜范圍內（而不是特定的波長）測量Psi和Delta，通過構建物理模型對數據進行擬合分析，終得到膜厚、折光系數、吸收、粗糙度、組成比率等結果。

儀器特點：

可直接得到光學參數、n值（折射率）、k值（吸收率）及厚度，并可作在線即時測量；

 可作各光學參數的整理歸檔，并以各種不同模式輸出；

 非接觸式測量，不刮傷損壞測試樣品；

 體積小巧：由高性能的微型光纖光譜儀構成分光逐漸，體積小巧；

 使用簡單方便：由計算機控制測量，只需按一個按鍵，即可完成薄膜特性檢測。

特性參數：

可用于：在線過程監控或離線產品檢測

橢偏儀原理：

橢圓偏光法是基于測量偏振光經過樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質。光譜型橢偏儀Ellipsometer在全部光譜范圍內(而不是特定的波長)測量Psi和Delta，通過構建物理模型對數據進行擬合分析，終得到膜厚、折光系數、吸收、粗糙度、組成比率等結果。