熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) （Thermal Evaporator System）通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) (Thermal Evaporator System)通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) (Thermal Evaporator System)技術(shù)規(guī)格特點(diǎn)：

- 基底尺寸：4英寸，6英寸，8英寸；

- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；

- 熱蒸發(fā)源：4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟，交流電源；

- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇，不同尺寸的箱式腔室可選；

- 泵：機(jī)械泵，擴(kuò)散泵或者分子泵，供客戶選擇；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底；

- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制，使用GUI進(jìn)行工藝控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持；

- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制；

- 襯底固定：?jiǎn)我r底固定，多襯底固定，行星式襯底固定，客戶化襯底固定方式；

- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；