Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統基礎研究、地質分析、半導體分析、同位素比值研究



樣品種類：

半導體材料、透明玻璃、石英、金屬材料

Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統是目前市場上非常好用的激光剝蝕系統。它配備有一個結構緊湊且密封的工業級準直激光器。該系統可配置1028nm、257nm和206nm波長的激光器,若有需要也能設計使用其他波長的激光器。Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統能夠實現10 J/cm² (1028nm)、5 J/cm² (257nm)和3 J/cm² (206nm)的能量密度。*穩定運行情況下，該系統剝蝕穩定度RSD能達到0.1%。

Excite Pharos 能夠與HelEx II樣品池相互配合，以提供一個快速、持續、穩定的沖洗和剝蝕環境。

Teledyne Photon Machines 公司擁有University of Michigan 提供的許可，提供飛秒激光剝蝕系統用于化學分析，涉及U.S. patent 5,656,186 and U.S. Reissue Patent RE 37,585。與這些University of Michigan相關的的侵權問題的保護也涉及到使用該技術的Teledyne Photon Machines 公司的用戶。

性能參數

l  Light Conversion Pharos 2mJ或者Pharos SP 1.5 mJ

l  激光波長：1028nm、257nm、206nm

l  脈沖持續時間小于190 fs - 10 ps

l  脈沖能量能達到2mJ

l  可調的脈沖頻率：1Hz - 200kHz

l  波長轉換范圍廣（諧波發生器、OPA、NOPA、連續發生器）

l  只有一次光學折射，用于展寬小脈沖

l  每一波長都有獨立的光路

l  獨立的攝像機和激光光學組件能夠更好的查看樣品剝蝕點

l  從1 - 65微米連續可調的光斑大小

l  與HelEx II型主動樣品池兼容

l  集成的冷卻系統，減少碳排放