靈巧型勻膠機 型號：EZ6
設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用

靈巧型勻膠機 
 設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究 標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。 

產品性能參數： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶） 

速度可調范圍：200-10000rpm 
加速度可調范圍：100-10000rpm/s 
轉速分辨率：1rpm  
轉速精度：＜±5rpm 
可編程10組10步程序  
寬電壓輸入：AC100-230V 
產品特性優點： 
100W 直流無刷電機，PLC 控制 
5”全彩觸摸屏  
系統中英文可選 

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能 
HDPE 內腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋  
真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能 
產品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H) 

靈巧型勻膠機 

產品名稱：小型勻膠機 產品型號：EZ4

小型勻膠機 型號：EZ4

EZ4勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。 
　　EZ4勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽氧化鋁面板外殼，PP材料內腔，經久耐用。 

產品性能參數： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶） 

速度可調范圍：100-10000rpm 
加速度可調范圍：100-10000rpm/s 
轉速分辨率：1rpm  
轉速精度：＜±5rpm 
可編程5組5步程序  
寬電壓輸入：AC100-230V 

產品特性優點： 


75W 直流無刷電機，單片機控制 
高清晰文本顯示器  
可單步和多步勻膠操作 

PP耐腐蝕內腔，可更換  
鋁合金陽氧化外殼，美觀大方  
耐溶劑PC透明蓋  
多角度定位鉸鏈設計  
HDPE真空吸盤 
產品外型尺寸： 250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)