石墨烯生長爐由滑動開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

石墨烯生長爐主要用途和適用范圍：

用于石墨烯生長、研發的爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

石墨烯生長爐技術參數：

爐體結構

雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫；

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩

爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻

支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4kw

爐管

高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小

尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統

加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用

加熱區長度：410mm

恒溫區長度：200mm

工作溫度：≤1150℃

zui高溫度：1200℃

升溫速率：10℃/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能

30段升降溫程序

測溫元件：N型熱電偶

恒溫精度：±1℃

混氣系統

三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制

內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量

流量規格：0~1SLM

流量精度：±0.5%

真空系統

采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr

數顯式真空壓力表

可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等

標準配置

主機1臺，密封法蘭1套，“O”型圈4個，石英管1根，管堵4個，坩堝鉤1把，

說明書、合格證、保修卡各1份

可選配件

混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀等。