特點
采用高精度氣浮軸承線性導軌系統，從而將直線度誤差減少到zui小。采用分辨率為 0.01mm 的玻璃光柵尺，此
玻璃光柵尺由位于地下 11 米處的高精密工廠制造。通過使用熱膨脹系數幾乎為零的玻璃光柵尺，將溫度變化對精度的影響減少到zui低。使用有限元方法 (Finite Element Method) 分析優化主機的機械結構。穩定的幾何量精度

超高精影像測量機

性能參數
型號 ULTRA QV404 PRO
測量范圍 X 軸 400mm
Y 軸 400mm
Z 軸 200mm
分辨率 0.01µm
高靈敏度 CCD 照相機 黑 & 白
精度 *（20ºC±0.2ºC）
E1XY （0.25+L/1000）µm
E1Z （1.5+2L/1000）µm
[（1+2L/1000）µm: 10 - 60mm]
E2XY （0.5+2L/1000）µm
超高精影像測量機zui大驅動速度 （X/Y/Z 軸） 150mm/sec
照明（PRL: 可編程環形照明）
表面 鹵素燈
輪廓 鹵素燈
PRL 鹵素燈
放大倍率轉換系統 可編程電動轉盤
工作臺玻璃尺寸 493 x 551mm
超高精影像測量機臺面zui大承重 40kg
尺寸 （W x D x H）** 1200 x 1735 x 1910mm
重量 ** 2150kg