簡(jiǎn)介：
超高純氣體純化技術(shù)是有色金屬研究總院“十三五”重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間*項(xiàng)目科研成果基礎(chǔ)上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質(zhì)種類(lèi)多、吸附深度大、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，并以此為核心技術(shù)開(kāi)發(fā)出多個(gè)型號(hào)的惰性氣體、氫氣和氮?dú)獾瘸呒儦怏w純化裝置。同時(shí)，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術(shù)，以及完善的純化器性能測(cè)試條件，可根據(jù)用戶需求設(shè)計(jì)完整解決方案、定制非標(biāo)產(chǎn)品，并提供各項(xiàng)性能檢測(cè)服務(wù)，目前產(chǎn)品已應(yīng)用于*理化所、*、西南化工研究設(shè)計(jì)院、北京師范大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、北京科技大學(xué)、國(guó)家有色金屬材料檢測(cè)中心，哈爾濱師范大學(xué)等單位獲得應(yīng)用。
UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑，當(dāng)原料氣通過(guò)活性金屬純化床時(shí)，氣體中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達(dá)到 7N-8N，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守全自動(dòng)運(yùn)行，并具有實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、故障報(bào)警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質(zhì)量，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接，漏率低于 10－9 Pa；關(guān)鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級(jí)超凈環(huán)境中進(jìn)射流沖蝕試驗(yàn)機(jī)便于在各種條件下測(cè)定的磨損率。磨損率可 以用來(lái)確定在給定操作條件的*材料。它也可以被用來(lái)預(yù)測(cè)使用壽命和壽命周期成本。
UP系列氣體純化器
委托上海正帆科技公司對(duì) GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測(cè)結(jié)果
氣體類(lèi)型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 單位 |
原料氣 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未測(cè)試 | ppm |
純化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
部分用于現(xiàn)場(chǎng)照片：
山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場(chǎng)，分析用氣體純度達(dá)到光譜儀檢測(cè)所需的zui高級(jí)的綠色。
北京科技大學(xué)CVD設(shè)備用的多臺(tái)UP1L氬氣純化器
西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器
搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場(chǎng)合
UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：
- 原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2
- 產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%
- 產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）
H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
- zui大工作流量：≤10Nm3 /h，可定制2-30Nm3 /h
- 閥門(mén)：EP 級(jí)氣動(dòng)隔膜閥
- 內(nèi)置顆粒過(guò)濾器：2 微米
- 顯示屏：組態(tài)控制軟件，觸摸屏工業(yè)計(jì)算機(jī)控制
- zui大工作壓力：2.0MPa，氬氣可定制20兆帕高壓
- 出入口氣體壓差：0.2MPa
- 進(jìn)出氣接口：1/4″VCR
- 純化柱及管路：EP級(jí)316不銹鋼
- 管路連接：Swagelok 自動(dòng)軌道焊接
- 電源電壓及功率：220V-380V，10-20kw
- 產(chǎn)品外形尺寸：500×700×1600mm
氣體純化器是集成電路、LED、太陽(yáng)能板、光纖、燃料電池等制造工藝中*的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長(zhǎng)、焊接、配氣等多項(xiàng)技術(shù)的工藝性能。UP10M 工業(yè)用超高純氣體純化器系列主要用于提供工業(yè)生產(chǎn)、分析測(cè)試中的超高純度工藝氣、保護(hù)氣等，也是氣體配制行業(yè)*的關(guān)鍵設(shè)備之一。
氣體種類(lèi) | 產(chǎn)品用途 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
He | 稀釋氣純化 | 半導(dǎo)體制造業(yè)中光刻、干刻、化學(xué)氣相沉積工藝中混合氣 |
Ar | 等離子體氣體、載氣純化 | 半導(dǎo)體制造業(yè)中干刻蝕、離子注入等 工藝中等離子體氣體，直讀光譜儀載氣 |
N2 | 稀釋氣、檢漏氣純化 | 半導(dǎo)體制造業(yè)中稀釋氧化工藝、氣體濃度調(diào)節(jié)、檢漏氣體 |
H2 | 還原氣、反應(yīng)氣純化 | IC、LED 等制造業(yè)中外延工藝和擴(kuò)散工藝氣體 |
