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Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的型探針式表面輪廓儀(臺階儀)產品，主要應用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領域。
集40多年的探針輪廓技術創新于一身，該系統在行業內的表現遙遙，以重現性*和標準掃描范圍zui大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用于程序化測量、低探針力表征和細節分析
臺階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規格：
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；
可選Y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現率，0.5 um 分辨率
計算機系統： 主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數據點 zui多12萬數據點
zui大樣品厚度 高達90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現性 6埃
垂直范圍：標準524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
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