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ZLS-24C氦質譜檢漏儀
性能指標
氦質譜檢漏儀對比
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型 號 zui小可檢漏率Pa.m3/s
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ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
ZLS-26D/T 5·10-12
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型 號 反應（清除）時間 s
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ZLS-23B ＜3
ZLS-24B ＜3
ZLS-24C ＜3
ZLS-26D/T ＜3
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型 號 讀數方式
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ZLS-23B 表頭（mV）
ZLS-24B 表頭和數字（量程自動切換）
ZLS-24C 表頭和數字（量程自動切換）
ZLS-26D/T 數字直讀
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型 號 特 點
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ZLS-23B 單主機，帶標準漏空
ZLS-24B 帶一套粗抽系統（泵2XZ-4B），配有一只校準漏孔
ZLS-24C 帶二套粗抽系統，適用于批量檢漏，配有一只校準漏孔
ZLS-26D/T 渦輪分子泵（德國萊寶50型）前級泵
（日本GLD030）粗抽泵（英國
EDWARDERV12），配有一只校準漏孔
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