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一、國產質量流量計簡介

國產質量流量控制器耐壓100bar，可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。國產質量流量計流量可測到100SLPM，質量流量控制器的流量可測到100SLPM。

二、國產質量流量計工作原理

熱式質量流量計/控制器的核心是在由不銹鋼毛細管與電阻溫度計組成的感測器。被測氣體分別流經兩個層流區，一路通過主流量管道，另一路通過毛細測量管。兩個精密的溫度感應繞組在測量管上被加熱，當有流量產生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應繞組上，產生溫差和感應圈電阻的變化是成比例的。測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。

三、國產質量流量計技術規格

流量范圍      ：5SCCM-100SLPM

量程比        ：2%~100%滿量程

精度          ：≤±1%滿量程

線性度        ：≤±0.2%滿量程

重復性        ：≤±0.2%滿量程

響應時間      ：≤2秒

操作溫度      ：0~50℃

操作壓力      ：0bar~100bar

泄漏率        ：1×10^-10Pa.m³/sec(He)

供電電源      ：+15VDC or +24VDC/300mA

信號輸入/輸出 ：0-5VDC or 4-20mA

密封材質      ：標準  Viton

                可選 Buna/Kalrez/Teflon/Epdm

閥門狀態      ：常閉

電氣連接      ：9針

接口尺寸      ：1/8"、1/4"、3/8"swagelok

                可選VCR連接

主體材質      ：316L 不銹鋼

預熱時間      ：30min