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雙折射測量儀PA-Micro主要特點:
雙折射測量儀PA-Micro應用領域:
技術參數:
項次 | 項目 | 具體參數 |
1 | 輸出項目 | 相位差【nm】,軸方向【°】,相位差與應力換算(選配)【MPa】 |
2 | 測量波長 | 520nm |
3 | 雙折射測量范圍 | 0-130nm |
4 | 測量小分辨率 | 0.001nm |
5 | 測量重復精度 | <1nm(西格瑪) |
6 | 視野尺寸 | 142x170um到3.5x4.2mm |
7 | 選配鏡頭視野 | 無 |
8 | 選配功能 | 實時解析軟件,鏡片解析軟件,數據處理軟件,實現外部控制
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