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露點儀是能直接測出露點溫度的儀器。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴(或冰晶)的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露點(霜)溫度。它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴(冰晶)的光學探測系統。使用時使吸入樣本空氣的管道保持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分造成測量誤差。


濕度測量
鏡面式
不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結露。采用光電檢測，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有:半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。達到±0.1℃(露點溫度)，一般精度可達到±0.5℃以內電傳感器式露點儀

采用親水性材料或憎水性材料作為介質，構成電容或電阻，在含水份的氣體流經后，介電常數或電導率發生相應變化，測出當時的電容值或電阻值，就能知道當時的氣體水份含量。建立在露點單位制上的該類傳感器，構成了電傳感器式露點分析儀。達到±1.0℃(露點溫度)，一般精度可達到±3℃以內。

電解法露點儀

利用五氧化二磷等材料吸濕后分解成極性分子，從而在電極上積累電荷的特性，出建立在含濕量單位制上的電解法微水份儀。

晶體振蕩式露點儀

利用晶體沾濕后振蕩頻率改變的特性，可以晶體振蕩式露點儀。這是一項較新的，尚處于不十分成熟的階段。國外有相關產品，但精度較差且成本很高。

折疊紅外露點儀
利用氣體中的水份對紅外光譜吸收的特性，可以紅外式露點儀。該儀器很難測到低露點，主要是紅外探測器的峰值探測率還不能達到微量水吸收的量級，還有氣體中其他成份含量對紅外光譜吸收的干擾。但這是一項很新的，對于環境氣體水份含量的非接觸式在線監測具有重要的意義。

半導體傳感器
每個水分子都具有其自然振動頻率，當它進入半導體晶格的空隙時，就和受到充電激勵的晶格產生共振，其共振頻率與水的摩爾數成正比。水分子的共振能使半導體結放出自由電子，從而使晶格的導電率增大，阻抗減小。利用這一特性的半導體露點儀可測到-100℃露點的微量水份。

重量法
是一種經典的測量方法。讓所測樣氣流經某一干燥劑，其所含水分被干燥劑吸收，稱取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優點是精度高，大允許誤差可達0.1%;缺點是具體操作比較困難，尤其是得到足夠量的吸收水質量(一般不小于0.6克)，這對于低濕度氣體尤其困難，加大樣氣流量，結果會導致測量時間和誤差增大(測得的濕度不是瞬時值)。因而該方法只適合于測量露點-32℃以上的氣體，可以說市場上純粹利用該方法測濕度的儀器較少。

由以上分析可知，重量法的關鍵是怎樣測量干燥劑吸收的水分含量，因為直接測量比較困難，由此衍生了兩種間接測量吸收水含量的方法。

電解法
就是將干燥劑吸收的水分經電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過檢測該電流即可測得樣氣的濕度。該方法彌補了重量法的缺點，測量量程可達-80℃以下，且精度較好，價格便宜;缺點是電解池氣路需要在使用前干燥很長時間，且對氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。

振動頻率法
就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，根據該晶體吸收水分質量不同時振動頻率不同的特點，讓樣氣和標準干燥氣流經該晶體，因而產生不同的振動頻率差△f1和△f2，計算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。該方法具有電解法一樣的優點，且使用前勿須干燥。

冷鏡法
也是一種經典的測量方法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測后，不確定度甚至可達0.1℃;缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生'偽結露'造成測量誤差。

阻容法
是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優點是測量量程可低，甚至達-100℃，另一突出優點是響應速度非常快，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現場和快速測量場合;缺點是精度較差，不確定度多為±2~3℃。老化和漂移嚴重，使用3~6個月校準。