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俄歇電子能譜的特點及組成

2019年06月28日 11:53

　　【儀器網產品文庫】俄歇電子能譜簡稱AES，是一種表面科學和材料科學的分析技術。

　　組成

　　俄歇能譜儀包括電子光學系統(tǒng)、電子能量分析器、樣品安放系統(tǒng)、離子槍、超高真空系統(tǒng)。以下只介紹核心的電子光學系統(tǒng)和電子能量分析器。

　　俄歇電子能譜特點

　　1、俄歇電子的能量是靶物質所*的，與入射電子束的能量無關。右圖是一些主要的俄歇電子能量。可見對于Z=3-14的元素，突出的俄歇效應是由KLL躍遷形成的，對Z=14-40的元素是LMM躍遷，對Z=40-79的元素是MNN躍遷。大多數(shù)元素和一些化合物的俄歇電子能量可以從手冊中查到。

　　2、俄歇電子只能從20埃以內的表層深度中逃逸出來，因而帶有表層物質的信息，即對表面成份非常敏感。正因如此，俄歇電子特別適用于作表面化學成份分析。

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