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四探針測試儀的特點

來源:蘇州晶格電子有限公司   2024年12月31日 01:02  

  對于四探針測試儀這種設備您了解多少?很多人都是在用到的時候,才會多少了解一些。為此下面小編就為您詳解四探針測試儀的特點。

  本設備是應用四探針測量工作原理的多功能概括測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方式國家標準規范并參考美國A.S.T.M標準規范而制定的,常用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機、測驗臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接呈現,也可以由計算機控制測試收集測試數據到計算機中具體分析,隨后以表格,圖形方式統計分析呈現測試結論。

  四探針測試儀選用了新電子信息技術開展制定、組裝。具備作用挑選直觀、測量取數快、高精度、測量規模寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。本儀器的特點是主機裝備雙數字表,在測量電阻率的一起,另一塊數字表(以萬分之幾的精確度)及時檢測全過程的電流更改,摒棄了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時把握測量電流。主機還供給精確度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機裝有恒流源開關,在測量某一些箔層材料時,可摒棄探針尖與被測材料之間觸摸火花的發生,好地維護箔膜。儀器裝備了本公司的技術:"小遲疑四探針頭",探針遲疑率在0.1——0.2%。保證 了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如配加HQ-710E數據處理器,測量硅片時可積極主動開展厚度、直徑、探針距離的批閱,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分更改、均值百分更改、徑向電阻率不均勻習庋。給測量提供較大便捷。


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