飛納臺(tái)式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)借助3D粗糙度重建模塊，可以產(chǎn)生樣品的 3D 還原圖像，并進(jìn)行亞微米量級的粗糙度測量。3D粗糙度重建模塊可以幫助用戶更加細(xì)致的分析飛納臺(tái)式掃描電鏡所得到的圖像，提取出樣品的隱藏信息，并將其可視化。3D 圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點(diǎn)，使得在 2D 圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

飛納臺(tái)式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)

借助 3D 粗糙度重建系統(tǒng)，飛納臺(tái)式掃描電鏡（SEM）可以生成樣品的三維圖像，并進(jìn)行亞微米量級的粗糙度測量。基于“陰影顯形”技術(shù)，3D 成像有助于展示樣品特征。

3D

飛納臺(tái)式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點(diǎn)，使得在2D圖像中很難分辨的凹坑、劃痕、刻紋等特征，變得清晰可見。

粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測量對于生產(chǎn)工藝的控制和改進(jìn)具有重要意義。使用SEM圖像作為信息收集手段，可以獲得較傳統(tǒng)（非直接）手段更佳的分辨率。

3D 粗糙度重建模塊是 Phenom 的理想擴(kuò)展，特別適用于下列領(lǐng)域：

? 機(jī)械加工的質(zhì)量控制

? 紋理分析

? 證物鑒定

? 缺陷&失效分析

? 摩擦學(xué)-磨損分析

飛納臺(tái)式掃描電鏡 3D 粗糙度重建系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn)：

? 遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測量手段

· 高分辨率

· 可測量反射樣品

· 直接測非破壞性

? ?創(chuàng)新性全自動(dòng)用戶界面

? 基于“陰影顯形”，無需傾斜樣品

? 完整解決方案

? 快速重建

? 直觀的用戶界面

規(guī)格參數(shù)

自動(dòng)實(shí)時(shí)創(chuàng)建 3D 圖像

· 全 3D 圖像

· 2D 或 3D 圖像

· 通過顏色指示高度過濾后的 3D 圖像

· 基于“陰影顯形”的技術(shù)，無需樣品傾斜

· 快速重建

自動(dòng)粗糙度測量

· Ra（平均粗糙度）和 Rz（粗糙高度）

· 用戶自定義濾波參數(shù)

· 支持 5 線同時(shí)測量