智能型高精度三氟化氮氣體傳感器模組，先將國外的氣體傳感器進行信號放大、數據處理、智能計算后，再進行全量程三點溫濕度補償。然后再用高精確度的標準氣體進行數據校準。因此，體積更小、價格更低、性能更加優良穩定；客戶購買后，無需任何操作，無需再次標定，可直接采集處理后的標準信號RS485、0-5V之間任意電壓和TTL數字信號，上傳到PLC、DCS、DDC、數據采集儀等上位機系統；

中文名稱:三氟化氮 英文名稱:Nitrogen trifluoride 中文別名:氟化氮;英文別名:232-007-1; trifluoroamine CAS號:7783-54-2 分子式:F3N 分子量:71.0019

物性數據

1. 性狀：無色、帶霉味的氣體。

2. 2.熔點（oC）：-208.5

3.沸點（oC）：-129

4.相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）

5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45

6.臨界溫度（oC）：-39.3

7.臨界壓力（MPa）：4.53

8.溶解性：不溶于水。

存儲方法

1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體規定運輸，國外規定可以用汽車、火車運輸，不能用飛機運輸。氣瓶充裝系數不大于0.01。

2.儲存注意事項[16] 儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、還原劑、食用化學品分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

合成方法

在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應式為：

反應產物經過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質，最后用低溫法收集得到NF3。

主要用途

1. NF3是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學激光器方面大量應用的原理。在高溫下，NF3與有機化合物反應常伴有爆炸性，操作時應十分謹慎。2.用作高能燃料。

   
   

2. 

一、智能型高精度三氟化氮氣體傳感器模組產品簡介

深國安電子自主研發生產的一款標準化、模塊化、智能化氣體檢測產品；主要為解決氣體檢測種類繁多、各品牌氣體傳感器互不兼容、生產標定復雜、核心元器件更換受限等問題；采用我司生產的SGA-400/700系列智能型氣體傳感器后，只需前期對接一次，即可快速響應客戶對不同氣體的檢測需求；擴散式和泵吸式兩個采樣方式可選，方便系統集成；模擬電壓和數字信號雙輸出，客戶直接供電即可采集數據。即買即用，無需二次開發或標氣調校?？纱蠓冉档推髽I的研發和時間成本，并快速將檢測精度和穩定性提升到水準。

SGA-400/700系列智能型高精度三氟化氮氣體傳感器模組100%采用國外芯片，確保產品的精度和穩定性；具體生產工藝為：先將國外的氣體傳感器進行信號放大、數據處理、智能計算后，再進行全量程三點溫濕度補償。然后再用高精確度的標準氣體進行數據校準。因此，體積更小、價格更低、性能更加優良穩定；客戶購買后，無需任何操作，無需再次標定，可直接采集處理后的標準信號RS485、0-5V之間任意電壓和TTL數字信號，上傳到PLC、DCS、DDC、數據采集儀等上位機系統；方便快捷、節約成本；產品廣泛應用于科研實驗室、數據采集、氣體監測、過程化控制、物聯網、無人機、工業機器人、網格化大氣環境監測儀、微型空氣質量監測站、惡臭在線監測、有毒氣體檢測等領域。

SGA-400系列目前是市面上最小的智能型氣體傳感器，體積小，重量小，非常適合無人機、工業機器人等空間受限的客戶使用。SGA-700系列內置四電*精度氣體傳感器，非常適合空氣質量、園區廠界、網格化環境監測等場所使用。

二、產品特點

● 體積小、重量輕、功能強大；

● 已標定，無需二次開發，即買即用；

● 產品一次對接，即可對應1000多種氣體檢測，一勞永逸；

● 產品標準化、模塊化，任何氣體都可以做成尺寸結構統一、信號輸出統一、使用方法統一；

● 本質安全型電路設計，帶國家防爆證；

● 兼容紅外、電化學、催化、半導體、PID等不同技術原理傳感器，功能強大；

● 自帶溫濕度補償和數據校準功能，方便客戶對接，維護方便；

● 內置世界頂級品牌氣體傳感器，反應靈敏，測量精準，壽命長久；

● 多種信號輸出，方便客戶使用；

● 定制鍍金插座，拔插容易，固定牢靠；

● 氣體流體工程學設計，進氣流暢；

● 自然擴散式和主動吸入式兩種采樣方式可選；

● 免費提供測試軟件和通訊協議，方便產品調試和系統對接；

● 免費開放內部數據和指令，方便客戶做二次修正或參數更改；

● 可選配多組信號轉換板，將多個模組信號統一輸出為RS485、RS232和USB數據接口；

● 0.4-2V輸出的產品，可以協助客戶做產品故障診斷；

●每十家環境監測客戶中，就有5家在選購深國安的產品；