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掃描電鏡的發(fā)展歷史

閱讀：1034      發(fā)布時間：2019-07-30
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　　20 世紀(jì)的人們在dian話亭中言語的畫面還歷歷在目，轉(zhuǎn)眼到了 21 世紀(jì)，我們就已經(jīng)用上了手機(jī)，不僅體積小巧，信號質(zhì)量更好，而且功能愈加豐富。那么在這幾十年的時間里，掃描電鏡有沒有變得更小巧、分辨率更好呢？
 
　　答案當(dāng)然是肯定的。首先，我們來簡單回顧一下掃描電鏡的發(fā)展歷史：
 
　　1953 年
 
　　英國劍橋大學(xué)的麥哲馬倫等人研制成功第yi臺實(shí)用型掃描電鏡，分辨率達(dá)到 50 nm
 
　　1965 年
 
　　英國劍橋科學(xué)儀器公司研制成功第yi臺商用掃描電鏡 Mark I，其分辨率為 10 nm，從此揭開了掃描電鏡研發(fā)、制造和應(yīng)用的開端
 
　　1975 年
 
　　美國將微型計算機(jī)引入到掃描電鏡中，用于程序協(xié)調(diào)控制加速電壓，放大倍數(shù)和磁透鏡焦距的關(guān)系，二次電子圖像分辨率可達(dá) 6 nm
 
　　2005 年
 
　　美國發(fā)布第yi臺具有超高分辨率的帶有低真空的場發(fā)射電鏡，其分辨率為 1.0 nm
 
　　2010 年
 
　　冷場掃描電鏡的上市將分辨率提升到了 0.4 nm
 
　　由此脈絡(luò)可以清晰地看處，隨著科技的發(fā)展，掃描電鏡的分辨率在逐漸降低并趨近于電子束波長(0.01-0.001 nm)，其好處不言而喻——能夠通過電鏡看清楚更微小的物體，探索更微觀的世界。

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 復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司

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