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同時測定工業硅、高純硅中的鐵、鈣、磷、硼等十七個雜質元素

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　　FWS－1000型ICP-AES法同時測定 工業硅、高純硅中Fe、Ca、P、B、Na、Ti等十七個雜質元素 摘要： 本文研究了ICP－AES法測定工業硅及高純硅中雜質元素的具體測試方法，該方法對產品質量控制及檢驗雜質元素含量，具有可操作性和很好地應用價值。 關鍵詞： ICP-AES、工業硅、高純硅、雜質元素測定

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