全球液晶組件產(chǎn)業(yè)的競爭日趨激烈,因此,布局新興應(yīng)用市場和技術(shù),如AMOLED和LCD,成為面板大廠未來發(fā)展的重點方向。尤其AMOLED 即將大量應(yīng)用在產(chǎn)品上,特別是蘋果公司將在新一代iPad Pro上使用AMOLED顯示器,預(yù)計將會產(chǎn)生推波助瀾的效果。
然而從制造一般LCD到AMOLED,首先將會面臨精度和準(zhǔn)度的問題,因為與一般面板檢測技術(shù)相比,AMOLED要求的精度更高, 現(xiàn)有設(shè)備常因硬件的限制,無法有效地達到所需的標(biāo)準(zhǔn),因此,怡信光電科技特別推出2D誤差補償技術(shù),通過2D空間補償調(diào)整設(shè)備,以達到所需的精度和準(zhǔn)度。
采用2D補償技術(shù)提高精度和準(zhǔn)度
在制造過程中,傳動組件扮演著關(guān)鍵的角色,如果應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的傳動組件精準(zhǔn)度不夠, 會導(dǎo)致生產(chǎn)時的機械手臂或者導(dǎo)軌上的裝置,在移動時“差之毫厘",導(dǎo)致組裝、加工的位置產(chǎn)生偏移,從而讓精度要求動輒在幾微米的生產(chǎn)過程“失之千里",因此需要將誤差控制在微米等級。例如XY滑臺在微距移動的實際應(yīng)用中,常常因為真直度差而產(chǎn)生蛇行幅動的狀況,而真直度較差 的來源可能包含組裝誤差、螺桿精度和校正手法。
XY滑臺只有移動軸的自由度,若導(dǎo)軌加工不良、組裝不良,會造成角度的誤差,從而機臺在組裝時造成空間誤差,所以必須量測出角度的誤差, 知道誤差后就可以補償,進而降低誤差。
2D誤差補償技術(shù)應(yīng)用于高精度液晶面板檢測流程
以高精度液晶面板檢測為例,高精度液晶面板檢測要求的精度很高,組件間的間距很小,但常因為硬件的限制,無法很有效地達到所需的精度,所以需要依靠2D誤差補償來做細微的調(diào)整。
怡信光電科技2D誤差補償技術(shù),如果使用者想要依據(jù)測量計算的結(jié)果補償X與Y方向的 位置,需要先建立在對應(yīng)的坐標(biāo)上,對X軸向與Y軸向需補償?shù)奈恢弥?,并提供控制器相關(guān)的設(shè)定值,包含距離間距與補償。
2D誤差補償架構(gòu)
開啟誤差補償功能后,測量工作中,龍門型測量儀控制器的軸控制器中輸出的位置命令會疊加需要補償?shù)奈灰屏?,以消除測量出的已知的誤差量。
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