Park Systems XE-100 原子力顯微鏡

    XE-100是Park Systems的旗艦產品。該產品可以實現精確的納米計量和無損檢測。新增的多區域自動掃描功能，更是*的提高了檢測效率。該系統可廣泛的應用于材料科學、聚合物、電化學等諸多領域。近年來，Raman HR-800和XE-100的聯合系統更是幫助VLSI開拓出了對100納米以下硅微結構進行機械性能分析的新天地。

技術參數（機械部分）：
1. XY掃描器：50µm×50µm（閉環），可選配100µm×100 µm（閉環）
2. Z掃描器：12µm （可選配25µm）
3. 水平度：50µm線掃描垂直偏差不超過1nm
4.  XY和Z掃描器的正交性：1.0o
5. 樣品臺移動范圍：25mm×25mm（X/Y），27.5mm （Z）
6. 樣品尺寸：100mm×100mm
7. 光學觀察：垂直光路設計，可直接觀察微懸臂和樣品

技術參數（電子部分）
1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模數/數模：16位，500kHz采樣頻率
3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協議的通訊方式與計算機聯接
5. 符合CE認證標準

標準工作模式：
. 真正非接觸模式（True non-contact mode）
. 接觸模式（contact mode）
. 相位模式（phase imaging）
. 橫向力模式（LFM）

擴展工作模式：
. 力測量（Force measurements）
. 導電（Conductive AFM）
. 電力（Electric Force）
. 電子 （Electrical）
. 磁性 （Magnetical）
. 機械 （Mechanical）
. 熱 （Thermal）

主要特點：
一、 計量精確
XE系列AFM*消除了球面誤差，因而具備了實現精確納米計量的能力。
二、 掃描器線形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器zui大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合，并且通過位移傳感器及時進行反饋控制，這就有效保證了掃描的準確度和精度。
三、 非接觸式掃描
可真正實現非接觸式掃描是Park AFMzui顯著的技術優勢。采用這一模式掃描時，針尖和樣品間距可以保持在幾個納米，在避免針尖磨損的同時提高了成像質量。
四、 CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點，是常用的AFM探針性能測試樣品。如采用輕敲模式進行掃描，10次后圖像質量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實驗中，掃描100次后圖像細節依然清晰，證明針尖沒有受到損傷。